随着微电子技术的发展,微电子产品凭借体积小、功能全、智能化等特点越来越受到市场的欢迎,与此同时微电子的可靠性也随之被大家关心和重视,本文则对微电子器件的可靠性进行了研究,得出微电子的可靠性受热载流子、金属化、静电放电、栅氧化层等因素的影响,并针对这些原因,本文提出了相应的解决措施,旨在提高微电子器件的可靠性。
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