CZTS太阳能电池制作方法

作者：马传贺; 孙琳; 江锦春; 陈晔; 卢小双; 徐斌

来源：2019-11-01, 中国, ZL201711296726.4.

本发明提供了一种CZTS太阳能电池制作方法,包括以下步骤：(A)清洗衬底；(B)溅射背电极层；(C)按Cu原子数：Zn Sn原子数为0.6~0.95以及Zn原子数：Sn原子数为0.7~1.3的比例共溅射制作前躯体层；(D)将含有该前躯体层的基片置于570~630℃的惰性气体氛围内进行硫化处理,得到CZTS薄膜；(E)用磁控溅射加热含该CZTS薄膜的基片至400~500℃温度,并且在该CZTS薄膜上溅射厚度为25~45nm的CdS缓冲层,并使含该CdS缓冲层的基片在400~500℃的温度下热处理5~15分钟；(F)制作30~80nm的本征氧化锌层；(G)制作300~500nm的掺铝氧化锌层；(H)制作1~3μm的栅电极层。该方法具有制作流程简单,可以大幅提高电池吸收层组分的均匀性、二极管品质因子和转换效率的优点。

• 单位
  华东师范大学