发光纳米硅/二氧化硅多层膜的特性与氢气氛退火的影响

作者：夏正月; 韩培高; 韦德远; 陈德媛; 徐骏; 马忠元; 黄信凡; 陈坤基

来源：Acta Physica Sinica, 2007, (11): 6691-6694.

• 纳米结构
• 光学性质
• 复合 nanostructures
• optical properties
• recombination

利用等离子体增强化学气相沉积法制备了氢化非晶硅/二氧化硅多层膜,通过两步热退火的方法获得了尺寸可控的纳米硅/二氧化硅多层结构,晶粒尺寸约为4nm,在室温下观察到了较强的光致可见发光,其发光峰位于750nm.在此基础上,发现合适的氢气氛退火能有效地提高材料的发光强度.电子顺磁共振实验表明氢气氛退火有效地降低了纳米硅中的非辐射复合中心而导致发光效率的提高.

• 单位
  固体微结构物理国家重点实验室; 南京大学