二氧化锡薄膜气敏传感器对常见室内污染气体的电阻-温度特性及机理分析

作者：孙兰侠; 季振国; 杜娟; 周强; 陈琛; 赵丽娜

来源：传感技术学报, 2005, 18(01): 47-49+52.

DOI：10.3969/j.issn.1004-1699.2005.01.012

• 二氧化锡薄膜
• 气敏传感器
• 溶胶凝胶法
• 电阻-温度曲线 tin dioxide
• gas sensor
• sol-gel dip coating
• vacuum

采用无机试剂 (SnCl2 ·2H2 O)为原料 ,用溶胶 凝胶提拉法制备了二氧化锡薄膜及相应的气敏传感器 ,并研究了二氧化锡薄膜气敏传感器在常见室内污染气体气氛中的电阻 - 温度变化关系。结果发现不同气氛下电阻 温度特性各不相同 ,由此可以获得被测气体的相关信息。本文还用分子轨道计算软件对四种室内污染气体的分子轨道进行了计算 ,并根据分子轨道能级的相对位置定性解释了二氧化锡薄膜气敏传感器在不同气氛中的电阻 温度曲线。通过对甲醛、苯、甲苯、二甲苯四种气体电阻 温度曲线的测试可以确定被测气体的种类。

• 单位
  硅材料国家重点实验室; 浙江大学