CeO_2掺杂ZnO薄膜制备和紫外吸收性能

作者：徐芸芸; 张韬; 徐新; 李争鸣

来源：科技导报, 2010, (21): 26-29.

• 磁控溅射
• ZnO薄膜
• 掺杂
• 紫外吸收 RF magnetron sputtering
• ZnO thin film
• doped
• ultra-violet absorption

研究射频磁控溅射技术制备的CeO2掺杂ZnO薄膜的结构及紫外光吸收性能。结果显示,ZnO(002)晶面的晶面间距增大,由于晶格畸变的增加导致薄膜中的内应力也相应增加,随着CeO2掺入量的增加,引起ZnO晶格的进一步松弛,因此ZnO将呈混晶方式生长;由于ZnO的晶粒同时有多个生长方向,因而抑制了ZnO晶粒(002)取向生长度的速度,导致了晶粒尺寸的逐渐降低,薄膜的C轴择优取向性随CeO2含量的升高而降低。CeO2掺杂样品与纯ZnO薄膜的吸收谱的形状没有大的改变,吸收峰形基本一致,掺CeO2使薄膜的紫外吸收显著增强,吸收边明显向短波方向移动,吸收边的斜率有微小提高,吸收峰宽度略微增大,吸收强度增加...

• 单位
  中国人民解放军空军指挥学院