合肥光源的衍射光栅制备技术

作者：刘正坤; 邱克强; 陈火耀; 徐向东; 刘颖; 洪义麟; 付绍军

来源：现代物理知识, 2020, 32(03): 45-50.

DOI：10.13405/j.cnki.xdwz.2020.03.008

• 全息光刻
• 聚焦波带片
• 离子束刻蚀
• 合肥光源
• 制备技术

<正>衍射光栅是合肥光源光束线中重要的分光元件。本文介绍伴随合肥光源而发展起来的衍射光学元件精密加工实验室衍射光栅制备技术及相关工作进展。一、引言合肥同步辐射装置是工作在真空紫外-软X射线波段的连续光源。在真空紫外-软X射线波段通常使用光栅单色器分光,将所需的单色光从同步辐射光源中分离出来。衍射光栅是合肥光源重要的色散元件。国家同步辐射实验室成立了光学组,并逐步发展成现在的衍射光学元件精密加工实验室,

• 单位
  中国科学技术大学