铜互连微结构中无籽晶RuMoC扩散阻挡层的稳定性

作者：邹建雄; 林黎蔚; 焦国华; 鲁远甫; 刘波; 徐可为

来源：稀有金属材料与工程, 2019, 48(6): 1809-1813.

• 热稳定性
• 大马士革结构
• 非晶RuMoC薄膜
• 无籽晶阻挡层

采用磁控共溅射Ru和MoC靶,通过调节掺入MoC的含量获得非晶态RuMoC薄膜,研究了非晶RuMoC薄膜的热稳定性.HRTEM和XRD结果表明,在500℃下RuMoC薄膜依旧保持非晶结构;XPS分析结果表明,在该温度下,Ru-C键依旧保持完好,是RuMoC薄膜良好热稳定的关键.此外,研究了非晶RuMoC薄膜在大马士革铜互连线微结构中的热稳定性.HRTEM结果表明,RuMoC薄膜表面可直接电镀铜,TEM原位EDS结果表明,非晶RuMoC薄膜在500℃下依旧成功阻挡了Cu原子扩散.

• 单位
  中国科学院深圳先进技术研究院; 四川大学; 西安交通大学; 金属材料强度国家重点实验室