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摘要
当前的洁净室建造中,MAU+FFU+DCC是主流的气流组织方案,而其中高洁净等级的半导体洁净厂房又以高架地板为主要的回风型式,通过FFU与高架地板布置的分析,详细阐述了FFU布置率和高架地板开孔率的匹配关系,并针对某洁净厂房工程实例,结合先进的CFD (Computational Fluid Dynamics计算气体动力学)技术进行模拟分析,探讨不同布置方案下的气流运行情况,为洁净室气流组织设计提供了理论分析和实际经验支持。
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单位中国电子系统工程第四建设有限公司
