PVT法制备SiC单晶的研究进展

作者:游巧
来源:山西化工, 2022, 42(03): 40-71.
DOI:10.16525/j.cnki.cn14-1109/tq.2022.03.016

摘要

碳化硅(SiC)作为第三代半导体材料,具有相比于第一、二代半导体更优异的特性,在微电子、光电子等领域有着重要的应用价值。制备得到高质量、大尺寸的SiC单晶是实现其产业应用的前提。PVT法生长SiC单晶是现今的主流生长方法。总结了PVT法生长SiC单晶的四个主要影响因素的研究进展,拟在寻找未来的研究和发展方向。

  • 单位
    国家知识产权局