微悬臂梁传感系统在CNT微热量检测中的应用

作者：滕艳华; 王启明; 周宁鸿; 冯贺; 刘松; 薛长国^*

来源：微纳电子技术, 2022, 59(02): 175-179.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2022.02.011

• 微悬臂梁
• 碳纳米管(CNT)
• 传感器
• 温度检测
• 光热光谱

针对碳纳米管(CNT)微热量检测不易的问题,采用了一种基于微悬臂梁传感器的CNT微热量检测系统进行检测。通过光杠杆检测法测量微悬臂梁弯曲量,从而实现微悬臂梁对CNT的微热量检测,研究了CNT光热转换散发热量对微悬臂梁挠度的影响。用最小二乘法拟合出CNT薄膜温度变化与相应微悬臂梁偏移量关系。结果显示,温度变化与微悬臂梁偏移量呈线性关系,与理论分析符合,且面积约0.07 mm2的样品薄膜拟合曲线的线性相关系数为0.993 2。通过对温度检测的重复性实验,验证了系统具有较高的稳定性;将温度测量值与实验系统的拟合值进行对比,结果基本一致,验证了系统的可靠性。

• 单位
  安徽理工大学