硅基高度择优取向PZT厚膜的制备及性能研究

作者：刘保亭; 程春生; 赵庆勋; 闫正; 马良; 李锋; 武德起

来源：功能材料, 2006, (09): 1392-1394.

• 硅衬底
• 锆钛酸铅
• 溶胶-凝胶法
• 厚膜

应用溶胶-凝胶法成功地在以SrTiO3(STO)为模板/阻挡层Si(001)基片上制备了La-Sr-Co-O/Pb(Zr0.5Ti0.5)O3(PZT)/La-Sr-Co-O/STO/Si异质结,PZT的厚度为0.8μm。研究了异质结的结构和性能。实验发现,PZT结晶良好、具有(001)高度择优取向以及较高的极化强度和较小的极化强度对脉冲宽度的依赖性;当外加电压为50V时,电阻率仍>108Ω.cm。

• 单位
  河北大学