真空共晶炉的改进与提升

作者：霍灼琴; 马海亮; 张永聪

来源：电子工业专用设备, 2021, 50(03): 54-59.

• 真空共晶炉
• 温度均匀性
• 冷却速率
• 热仿真分析

介绍了真空共晶炉,通过热仿真分析得出提高真空共晶炉温度均匀性的方法,对真空共晶炉进行改进,提高了设备的温度均匀性和冷却速率,并对改进后的设备进行了测试,测试结果满足了设计的要求。

• 单位
  中国电子科技集团公司第二研究所