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摘要
亚稳态氪原子具有较高的内能，在金属表面碰撞时会激发产生电子，利用电子透镜对退激发电子进行成像与检测，即可实现亚稳态氪原子束流强度以及空间分布的表征。基于该原理设计了一种亚稳态氪原子束流成像系统，采用有限元分析方法研究了电极间距、厚度与电势对退激发电子束流运动的影响规律。结果表明：成像弥散随着电子透镜聚焦能力的提升而减小。其亚稳态氪原子束流各物点成像误差在2 mm以内，成像大小为16.5 mm,平均误差为3.71%,最大误差为9.38%。
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单位中国人民解放军装备学院
