摘要

利用反应离子束刻蚀设备制备了硅基的两维空气柱光子晶体 ,并用红外显微镜测试了样品的反射谱 .理论上用时域有限差分 (FDTD)方法计算了样品的光子带隙 ,从测试结果看光子带隙和理论计算的光子带隙符合得很好