硅基碲镉汞红外探测器表面钝化研究

作者：戴永喜; 何斌; 郑天亮; 宁提; 李乾; 张雨竹

来源：红外, 2023, 44(08): 28-33.

• 碲化镉
• 分子束外延
• 钝化
• 电流-电压特性

碲镉汞(Mercury Cadmium Telluride, MCT)材料的表面钝化是红外探测器制备中的关键工艺之一。高性能MCT器件需要稳定且可重复生产的钝化表面和符合器件性能要求的界面。因此，探究MCT表面钝化技术具有重要意义。研究了MCT的分子束外延(Molecular Beam Epitaxy, MBE)原位钝化与磁控溅射钝化两种钝化技术。结果表明，MBE原位钝化膜层的致密性较好，钝化层表面的缺陷孔洞较小，钝化层与MCT的晶格匹配度较好，器件流片的电流-电压(I-V)特性要优于磁控溅射正常钝化。

• 单位
  华北光电技术研究所