MOPA准分子激光全固化电源同步模块的设计

作者：尹洪虎; 宋莹; 鲍健

来源：现代电子技术, 2012, (10): 132-135+138.

DOI：10.16652/j.issn.1004-373x.2012.10.001

• 准分子激光器
• 全固化脉冲电源
• 同步抖动
• FPGA excimer laser
• SSPPM
• synchronization
• timing jitter
• FPGA

介绍了一种基于可编程逻辑器件FPGA的主振荡-功率放大(MOPA)准分子激光全固化脉冲电源同步模块。在QuartusⅡ环境下采用VHDL语言完成设计和综合,使用ModelSim软件进行仿真。当采用300MHz工作频率时,系统同步抖动不大于±3.3ns,满足系统设计要求。与传统系统相比,该系统具有体积小、可靠性高、便于验证修改和系统集成的优点。

• 单位
  中国科学院，安徽光学精密机械研究所; 中国人民解放军国防科学技术大学; 中国科学院安徽光学精密机械研究所