纳米金刚石薄膜的制备和应用

作者：刘素田; 唐伟忠; 耿春雷; 吕反修

来源：金刚石与磨料磨具工程, 2006, (01): 75-79.

DOI：10.13394/j.cnki.jgszz.2006.01.021

• 纳米金刚石薄膜
• CVD
• 制备和应用 nanocrystalline diamond films
• CVD
• preparation and application

纳米金刚石薄膜的优异性能吸引了众多学者的关注,同时也成为CVD金刚石薄膜研究领域的新热点。文章对国内外的纳米金刚石膜制备的研究状况做了详细介绍,并对纳米金刚石薄膜的应用进行了讨论。

• 单位
  北京科技大学; 材料科学与工程学院