TFT-LCD玻璃的对刀切割工艺及关键技术

作者：李海泉; 王涛; 董哲; 李庆亮

来源：电子工艺技术, 2021, 42(06): 357-365.

DOI：10.14176/j.issn.1001-3474.2021.06.013

• TFT-LCD
• 对刀切割
• 裂片

针对分切TFT-LCD玻璃的工艺要求及技术难点,提出了一次对位、对刀切割、台板裂片的工艺方法,并研究了刀轮的选择原则、刀轮角度对切割裂纹的影响,给出了切割压力、切割深度、切割速度等工艺参数的设置方法。