<正>(接2015年第2期第80页)三极溅射的电流密度最高约2 m A/cm2,放电气压可为10.1 Pa,放电电压1 0002 000 V,镀膜速率约为二极溅射的两倍。但由于热丝电子发射,难以获得大面积均匀的等离子区,不适于镀制大工件。在利用冷阴极辉光放电的溅射装置中,阴极本身又兼作靶、与此不同的是,三极(以及四极)等离子体溅射装置是在产生热电子的阴极和阳极之间产生弧柱放电,并维持弧柱放电等离子
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