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摘要
本发明一种锡膏激光诱导前向转移设备与方法,该设备包括激光器、光束整形模块、光路调节模块、锡膏转移模块以及计算机控制系统,所述激光器与光束整形模块相连接,紧接着光路调节模块,而锡膏转移模块位于光路调节模块的下方。光束整形模块包括扩束透镜、光圈、平顶光束整形器以及空间光调制器。光路调节模块包括二维振镜和f-θ透镜计。所述锡膏转移模块由透明基片、锡膏薄膜、夹具、Z轴升降台、接收基片、XYZ精密移动平台组成。计算机控制系统由计算机和其他设备的驱动器组成。本发明可以实现无需掩模、非接触式的高精度锡膏转移。能大大缩短生产周期,降低生产成本。
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