探针卡在芯片产业化中的应用分析

作者：杨跃胜; 武岳山

来源：中国集成电路, 2017, 26(04): 58-61+75.

DOI：10.3969/j.issn.1681-5289.2017.04.012

• 探针
• 探针测试卡
• 芯片测试
• wafer

芯片产业化过程中,涉及到大量探针卡的应用,探针卡对芯片测试非常重要;根据不同的标准对探针及探针卡进行分类;针对不同应用环境,分析了探针卡的选取方法;最后给出了探针卡的存放和使用相关规范,对探针卡的设计、加工及芯片的中测测试应用具有一定的参考作用。

• 单位
  深圳市远望谷信息技术股份有限公司; 西北大学