本文详细分析了能谱(EDS)定量分析过程中不确定度的来源,探讨随机变量、激发电流大小、工作距离、电子束焦距、取样点大小、电流值的可读性和电流稳定性以及ZAF因子等能谱参数对测量结果不确定度的影响。结果显示电流大小和工作距离是影响有标定量分析结果准确性的关键参数。EDS对钛非晶合金样品中Zr、Ti、Ni和Cu元素的有标定量分析结果符合定量分析要求,各元素相对扩展不确定度分别为4.68%、4.26%、5.04%和5.02%(包含因子k=2)。
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