真空(脉冲)氮化工艺过程

作者：薄鑫涛

来源：热处理, 2020, 35(03): 51.

<正>工件装入真空炉后开始抽气至0.1 Pa的真空,通电升温加热,工件达到要求的渗氮温度后(一般520～560℃),保温一段时间(30～60 min,视装炉量而定),净化工件表面和透热,然后停止抽真空,向炉内通入渗氮气体(氨气等),使炉压升高至50～70 Pa,保持一定时间(2～5 min),再抽真空至5～10 Pa,并保持一