微型碱金属原子气室MEMS制作技术

作者：李兴辉; 杜婷; 韩攀阳; 陈海军; 蔡军; 冯进军

来源：传感器与微系统, 2021, 40(03): 1-4.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2021)03-0001-04

• 碱金属
• 原子气室
• 微机电系统(MEMS)
• 阳极键合

碱金属原子气室是陀螺仪、磁力计和原子钟等原子传感器的核心部件。利用微机电系统(MEMS)技术实现微型化,是当今原子气室的重要发展方向。这些技术包括激光加工、超声波加工、湿法化学腐蚀、深反应离子刻蚀等硅孔成型技术,直接键合、共晶键合、粘结键合和阳极键合等基片键合技术,以及单质填充、原位化学反应、叠氮化物光分解、电化学分解释放和激光剥离蜡封包等碱金属填充技术。回顾了相关技术发展并分析了各自的优劣。

• 单位
  中国电子科技集团公司第十二研究所