碲镉汞高温中波红外探测器的制备研究

作者：杨朝臣; 张冰洁; 杜宇; 陈晓静; 周文洪; 刘斌; 黄立; 张传杰

来源：激光与红外, 2019, 49(02): 204-208.

• 碲镉汞
• 高温中波
• CdTe/ZnS双层钝化
• 红外探测器

采用CdTe/ZnS双层钝化工艺制备了640×512@15μm碲镉汞中波探测器。研究了退火温度对CdTe/MCT界面及CdTe钝化膜质量的影响。经测试表明:本公司制备的碲镉汞HOT中波探测器可以在125 K稳定工作,但与国外的先进技术相比仍存在差距,需要在MCT材料改进和器件加工工艺上继续深入研究,才能提高探测器的工作温度和稳定性。

• 单位
  武汉高芯科技有限公司