Al元素掺杂的TiN薄膜具有极高的硬度和耐蚀性能，可用于多种金属基体的表面防护。本文采用直流反应磁控溅射方法，选取Al原子掺杂，以靶材中Al原子比为变量，制备了不同含Al量的TiAlN薄膜。采用涂层附着力划痕实验和电化学腐蚀试验评估了Al原子掺杂比例对TiAlN薄膜结合性能和耐蚀性能的影响。结果表明：随着Al原子掺杂比例的增加，薄膜结晶度提高，晶粒尺寸增大，耐蚀性能提高。40%Al掺杂的薄膜的耐蚀性最好，但与基体的结合性能略有下降，而30%Al掺杂薄膜与基体结合性能最好。
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