一种硅漂移探测器的优化设计与特性研究

作者：刘瑶光; 殷华湘; 吴次南; 许高博; 翟琼华

来源：传感技术学报, 2020, 33(01): 7-11.

• 半导体探测器
• 硅漂移探测器
• 模拟仿真
• 测试

硅漂移探测器(SDD)因能量分辨率高和计数率高广泛应用于X射线的探测分析。阐述了同心圆环结构的圆柱形硅漂移探测器的工作原理,基于该结构采用TCAD仿真其内部电势分布、电场分布和电子浓度分布,依照仿真结果对器件结构进行优化,并对所研制的器件电学特性进行了测试分析。结果表明,优化后的硅漂移探测器内部漂移电场较为均匀并且电场强度较强,能够满足探测器的设计需求。

• 单位
  中国科学院大学; 贵州大学; 中国科学院微电子研究所