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摘要
该文提出了一种面向航天航空飞行器宽量程压力检测的声表面波(SAW)传感器的设计方法。在Y切石英晶体上,利用半导体平面工艺设计并制作了单端对谐振型传感器,在此基础上,通过石英干法刻蚀工艺制备了压力参考腔,并构建了全石英封装的面压式传感结构。利用搭建的气压测试平台,对制备的SAW传感器性能进行测试,测试结果表明,传感器在0～3.6 MPa量程内获得了1.36 kHz/MPa的检测灵敏度,并表现出良好的线性度。
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该文提出了一种面向航天航空飞行器宽量程压力检测的声表面波(SAW)传感器的设计方法。在Y切石英晶体上,利用半导体平面工艺设计并制作了单端对谐振型传感器,在此基础上,通过石英干法刻蚀工艺制备了压力参考腔,并构建了全石英封装的面压式传感结构。利用搭建的气压测试平台,对制备的SAW传感器性能进行测试,测试结果表明,传感器在0～3.6 MPa量程内获得了1.36 kHz/MPa的检测灵敏度,并表现出良好的线性度。
