科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
本发明公开一种一维球或锥窝阵列的高精度检测装置,包括L型基座、一维球或锥窝阵列,所述L型基座具有水平部和竖直部的L形结构,所述L型基座竖直部表面固定连接有一维球阵列或锥窝阵列,所述L型基座水平部固定连接有一维高精度位移台,在所述一维高精度位移台上固定有测头；所述测头包括固定底座,所述固定底座上按直线依次安装有透镜、分光镜以及激光器,所述分光镜一侧固定有四象限探测器,所述四象限探测器上设有电源接口及信号输出接口,所述信号输出接口连接数据采集模块相应的通道口。其方法通过几何运算可测量两标准球球心以及两锥窝之间距离。解决了锥窝精度校准问题,也使性能评价过程更加简单和方便,节省了测量成本。
- 单位
