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摘要
针对大管径等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备炉管数量增多，以及炉管加热时设备功率增大，从而导致设备总功率超过车间最大允许功率限制的情况，以大管径6管PECVD设备为例，通过利用控制系统实时监测各炉管的工艺过程状态、加热功率输出需求等数据，根据每个炉管温度对该炉管工艺的影响程度，智能调控各炉管各温区的加热功率输出上限，确保了设备总功率保持在最大允许功率之内。实测结果显示：即使在6个炉管同时启动工艺的极端工况下，通过采用提出的加热时总功率调节方法，设备整体产能受到的影响也不会超过8%。所提调节方法有效解决了设备总功率需求和车间厂务供能指标之间的矛盾。
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