基于MEMS技术的颅压监测传感器的设计与制备

作者:王文涛; 梁庭; 杨娇燕; 雷程; 李志强; 单存良; 薛胜方
来源:微纳电子技术, 2019, 56(10): 811-851.
DOI:10.13250/j.cnki.wndz.2019.10.007

摘要

颅内压力的监测对颅内疾病的诊断和治疗有重要的作用,基于硅的压阻效应,设计了一种可用于人体颅内压力监测的植入式压力传感器。根据压阻效应原理和薄板变形理论,完成了颅压传感器力学结构和电学性能的设计,然后采用微电子机械系统(MEMS)加工工艺完成了敏感芯片的制备,并提出了一种具有生物兼容性的绝缘封装结构。同时搭建了绝缘性测试平台和性能测试平台,通过测试证明封装后的传感器具有良好的绝缘性和抗渗透能力,且其灵敏度可达到1.608 mV/kPa,可对颅压的变化做出响应,为颅压传感器的批量化生产奠定了研究基础。