整体式圆膜片压强传感器的有限元分析和性能研究

作者：徐国欣

来源：衡器, 2023, 52(10): 9-11.

• 圆膜片压强传感器
• 切向应力
• 径向应力
• 切向应变
• 径向应变

本文介绍了三款整体式圆膜片压强传感器，进行了有限元分析，同时介绍了在制造压强传感器时的一些工艺难点和解决办法。