紫外光刻干膜微流控模具制作研究

作者：张敏; 李松晶; 刘航

来源：实验技术与管理, 2019, 36(12): 40-43.

DOI：10.16791/j.cnki.sjg.2019.12.010

• 干膜
• 微流控模具
• 曝光
• 显影

提出了一种基于感光干膜的微流控模具制作方法。以50μm厚的感光干膜为主要原材料,设计并制作了不同微流道结构的干膜微流控模具。针对紫外曝光和显影主要环节的关键实验参数进行了选择优化。利用该工艺制作的干膜微流控模具,完成了不同结构和功能的微流控芯片的封装及应用。结果表明,与传统光刻微流控模具制作方法相比,干膜微流控模具制备工艺具有操作简单快速、成本低、无需昂贵实验设备和专业操作人员,且制作后的干膜微流控模具边界规则、图形分辨率高,应用效果良好。

• 单位
  哈尔滨工业大学; 华北科技学院; 机电工程学院