提高二维工作台定位精度的误差补偿方法研究

作者：徐品烈; 田利忠; 种宝春; 常亮; 赵玉民; 孙莉莉

来源：电子工业专用设备, 2021, 50(01): 38-41.

• 水平分割法
• 误差补偿
• 定位精度

通过测量二维工作台XY轴直线度误差、垂直度误差、定位精度误差等,采用水平分割法对误差线性拟合,分析了每种误差对单轴定位精度和关联轴定位精度的影响,这种补偿方法能够有效地提高二维工作台的定位精度。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十五研究所