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摘要
准确量化高超声速飞行器高温热端部件的气动加热量是开展热防护系统设计、提高热端部件可靠性的关键。本文通过开展致密非晶SiCN在低压环境下的热稳定性及高温导电行为研究，探讨了非晶SiCN应用于高超声速飞行器传感领域的可行性。结果表明，致密非晶SiCN在低压环境下表现出更低的高温稳定性以及抗结晶能力，即在1300℃发生较明显的结晶及热分解，较常压高温处理非晶SiCN低～200℃；低压环境促进自由碳的有序化转变，导致1000℃低压高温处理非晶SiCN的电阻较常压高温处理非晶SiCN低～4个数量级，表现出更低的温度敏感性。总之，非晶SiCN在低压环境下仍然保持优异的温度感知能力，但是使用温度有所下降，降低～200℃。
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