充气平衡法减小超轻反射镜加工中的网格效应(特邀)

作者：于秋跃; 周小华; 王国燕; 乔国宝; 吕天斌; 张兆健; 王经华; 邵建业; 程云涛

来源：红外与激光工程, 2022, 51(09): 31-36.

• 光学加工
• 网格效应
• 充气平衡
• 超轻反射镜

对于传统蜂窝夹芯结构的反射镜，因加工过程中网格效应的存在，反射镜的面板厚度和蜂窝尺寸之间彼此关联制约着，严重影响反射镜的轻量化设计。针对蜂窝夹芯结构的超轻ULE反射镜，提出了一种充气平衡式减小网格效应的加工方法，运用控制变量法，通过实验比对了正常加工和充气平衡式两种研抛状态下网格效应的变化。实验结果表明：当反射镜面形精度RMS达到1/10λ(λ=632.8 nm)以上时，正常加工的面形图存在明显的网格效应，而充气加工则没有，可见反射镜内部充气可有效平衡加工压力，使反射镜在加工过程中有筋区域和无筋区域的变形趋于一致，从而有效减小网格效应。

• 单位
  中国科学院光电技术研究所; 北京空间机电研究所