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摘要
文章利用二维流体模型对双频调制大气压Ar/O2放电特性进行了研究，着重讨论高低频电压、低频频率等不同匹配方式对等离子体参数的影响，并且通过对电子加热模式、电子密度、中性粒子密度、正离子能量以及正离子总通量等分析了大气压Ar/O2放电双频调控机制。结果表明，低频源电压的改变使得电子加热模式由α模式转变为DA/α混合模式，且等离子体密度、正离子总通量及离子能量均随着低频电压的升高而增大，发生了解耦现象。与低频源电压不同，高频源电压和低频源频率对电子加热模式不产生影响。此外，高频源电压对等离子体密度及正离子总通量影响较大，对刻蚀工业中易对材料造成损伤的离子能量影响很小；而低频源频率对工业中影响影响较大的离子能量和离子总通量影响较大，对等离子体密度影响较小，实现了等离子体密度和离子能量的独立控制。
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