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摘要
本发明揭示了一种用于fA～pA量级微弱电流的绝缘薄膜测量系统,其中的电学测试装置中的前置跨阻放大器包括有两个CMOS运算放大器、四个CMOS传输门、四个CMOS反相器、六个电阻、两个电容。绝缘薄膜的漏电流大小通常介于数十fA(10-15A)至数十pA(10-12A),通过合理选择外围元件,前置跨阻放大器的输出电压可达到数μV至几十μV量级,该输出电压信号再经过中间电压放大器、后端电压放大器依次放大,可被电流测量装置准确测量出来,最终送至计算机进行处理、显示。利用本发明的ASIC独有的处理方式,有效地从信号源中过滤掉了运算放大器自身带来的干扰信号。
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