HTCC电化学H2S传感器制备及其性能分析

作者：秦浩; 杨永超; 王洋洋; 刘洋; 刘玺

来源：传感器与微系统, 2019, 38(05): 87-89.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2019)05-0087-03

• 高温共烧陶瓷
• 电化学
• H2S传感器
• 离子液体

采用高温共烧陶瓷(HTCC)工艺技术,设计并制备了电化学气体传感器,该传感器具有结构简单、尺寸小、重量轻等特点。运用电化学工作站对传感器的响应特性进行分析,结果显示:所测电化学气体传感器对H2S气体响应良好,在H2S传感器的量程范围(0～100)×10-6内,传感器的响应输出值与H2S气体体积分数呈现良好的线性关系,线性相关参数0. 997 55,精度优于±1. 5%FS,传感器对气体的响应速度较快,响应时间τ90不大于10 s。通过匹配不同离子液体可实现不同种类气体的检测。此外,HTCC工艺成熟,可实现传感器的批量化制备。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十九研究所