CO_2,O_2,CF_4液体微滴喷射靶激光等离子体光源光谱

作者：尼启良; 陈波

来源：光谱学与光谱分析, 2008, (11): 2465-2468.

• 液体微滴喷射靶
• 激光等离子体光源
• 极紫外投影光刻 Liquid aerosol spray target
• Laser-produced plasma(LPP) source
• EUVL

基于软X射线辐射计量和极紫外投影光刻(EUVL)应用,研制了一台使用纳秒激光器的液体微滴喷射靶激光等离子体(LPP)极紫外光源。该光源由一个可连续控温的不锈钢电磁喷气阀门、YAG激光器和能同步控制喷气阀门和激光器的脉冲发生器组成。使用液氮作致冷剂,控温范围77～473 K。对于足够高的背景气压和低的阀门温度,当气体经过阀门脉冲式地喷入真空靶室内时,气体经过气-液相变碎裂成大量的液体微滴形成液体微滴喷射靶。首先,依据非相对论量子力学理论,使用原子光谱分析常用的Cowan程序,计算了O2,CO2和CF4等几种液体在1011～1012W.cm-2激光功率密度下可能相应产生的O4+,O5+,O6+,O...

• 单位
  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室