真空蒸发沉积CdZnTe纳米薄膜的结构与形貌

作者：周昊; 介万奇; 查钢强; 高俊宁

来源：功能材料, 2010, (02): 282-284.

• CdZnTe薄膜
• 纳米
• 结构
• 形貌 CdZnTe films
• nanometer
• structure
• surface morphology

采用真空蒸发沉积技术在ITO玻璃上制备得到CdZnTe纳米晶薄膜,并利用台阶仪、X射线能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)研究了CdZnTe薄膜厚度、成分、结构和形貌特征。实验结果表明,薄膜在(111)面表现出明显的择优生长特性。在薄膜生长初期,纳米薄膜中存在一定程度的非晶态富集Te,但随着沉积时间延长,薄膜成分向化学计量比逼近,结构也向闪锌矿CdZnTe转变。薄膜表面形貌平整,粗糙度Ra约为2～5nm。随着沉积时间的延长,薄膜形貌由晶粒堆砌状向多晶层片连接状转变。在沉积时间分别为15、30和45min时,薄膜的厚度依次分别约为100、300和500nm,而薄膜的晶...

• 单位
  凝固技术国家重点实验室; 西北工业大学