一种提高薄膜厚度测量灵敏度的方法

作者：胡秀丽; 游佰强; 于海涛

来源：材料开发与应用, 2010, 25(5): 98-101.

DOI：10.3969/j.issn.1003-1545.2010.05.026

• 无损检测
• 三电极电容模型
• 保角变换
• 灵敏度

针对薄膜材料厚度无损测试技术,提出一种三电极平行板电容传感器薄膜测厚方法.具体采用了三电极平行板电容器结构,该电容传感器含有三个相同的几何尺寸是毫米级的平板电极探头,电极之间的间距可变.依据电容原理和保角变换方法建立理论模型.通过Fortran语言编写算法,将得出的计算结果与传统方法进行比较.结果表明用此方法检测薄膜厚度变化,不仅继承了传统电容测厚技术具有的结构简单,操作快捷,便于控制,低功耗,低成本等优点,还大大提高了薄膜厚度检测的灵敏度.

• 单位
  中国船舶重工集团公司第七二五研究所; 厦门大学