TFT-LCD配向膜涂覆工艺中膜厚不均改善研究

作者：陈维诚; 林强; 江桥; 滕玲; 舒文

来源：电子世界, 2019, (16): 51-52.

DOI：10.19353/j.cnki.dzsj.2019.16.022

<正>1引言TFT LCD生产工艺中,配向膜(Polyimide)厚薄不均在涂覆工艺中是常见的一种不良;局部范围内出现的配向膜厚度不均易产生黑白点、Mura(亮度不均一)等不良,影响产品良率,造成了严重的生产成本损失,目前解决配向膜厚度不均一已成为个急需解决的难题。

• 单位
  合肥京东方光电科技有限公司