Ag夹层厚度对PMMA基底上AZO/Ag/AZO薄膜结构和性能的影响

作者：徐清源; 张运生^*; 冯海兵; 陈琛; 黄鹏; 祖成奎

来源：武汉理工大学学报, 2022, 44(10): 11-16.

• AZO/Ag/AZO
• PMMA
• Ag膜厚度
• 光电性能
• 电加热

室温下在预制有底涂的有机玻璃（PMMA）表面上采用磁控溅射方法沉积了AZO/Ag/AZO叠层薄膜。研究了Ag夹层厚度对AZO/Ag/AZO薄膜的结构、光电性能和电加热性质的影响。结果表明：更大的Ag夹层厚度有利于AZO薄膜晶面生长，AZO(50nm)/Ag(13nm)/AZO(50nm)结构具有84.3%的高透射率和3.4Ω/的低薄膜电阻，与PMMA基底上沉积的其他薄膜材料相比具有最佳的光电性能；基于AZO/Ag/AZO叠层膜的PMMA电加热器件在5V的低电压载荷下表现出良好的升温效果；低温下13nm Ag夹层厚度的PMMA电加热器件具有更稳定的温度可重复性以及更小的表面温差，在最低-40℃环境下升温范围可达43℃，满足低温下的除冰除霜需求。作为传统ITO薄膜的高性能替代方案，基于AZO/Ag/AZO薄膜的PMMA电加热器件在航空电加热窗口领域有良好的应用前景。

• 单位
  中国建筑材料科学研究总院有限公司