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摘要
为检测非平面金属结构的表面裂纹宽度，降低传感器成本，设计了一款基于柔性基底的十字形RFID金属裂纹传感器。利用HFSS软件进行传感器结构优化与性能仿真。研究基板材料、厚度、弯曲程度对传感器性能的影响，确定PET柔性基底材料及结构参数；将传感器共形于柱面金属，检测表面裂纹宽度0～2 mm范围内的裂纹缺陷，并对不同裂纹宽度的传感器幅频特性响应进行分析；对传感器样品进行测试，测得其灵敏度可达104 MHz/mm,证实了利用柔性基板传感器检测非平面金属的可行性。所设计的柔性基板传感器可依托大面积印刷技术，为今后在大规模金属结构中高密度部署传感器提供可能。
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