磁控溅射TiAlN和TiAlSiN对Zr-Fe-Cr合金600℃腐蚀性能的影响

作者：罗伟; 潘东; 王宇; 曾波; 覃炳朝; 王均^*

来源：四川冶金, 2020, 42(05): 10-14.

• Zr-Fe-Cr合金
• 磁控溅射
• 耐高温氧化性能
• ZrO2
• TiAlSiN

为了提高Zr-Fe-Cr高温锆合金的耐腐蚀性能,采用磁控溅射,在Zr-Fe-Cr合金表面沉积TiAlN和TiAlSiN膜,然后对有无薄膜层的样品进行高温氧化,并对比不同表面状态样品氧化层的厚度及其增重。结果表明在ZrFe-Cr合金表面磁控溅射TiAlN和TiAlSiN均能明显提高基材的耐高温氧化性,其中TiAlSiN层表现出更优越的的性能。分析认为,基材的高温耐腐蚀性得到改善是因为镀层在高温下形成致密的Al2O3和TiO2膜,有效保护基体不被氧化。

• 单位
  成都四威高科技产业园有限公司; 中国核动力研究设计院; 中国电子科技集团公司第二十九研究所; 四川大学