用Ag+–Na+离子交换法,制备了氟氧化物玻璃平面光波导。应用棱镜耦合技术测量光波导的有效折射率,通过Inverse Wentzel–Kramer–Brillouin法计算了有效折射率对应的各阶模深度,并采用Gaussian函数对其分布进行拟合,结果显示:不同交换时间下折射率最大改变量为0.0367,离子交换扩散系数为0.012μm2/s。探讨了交换时间对氟氧化物玻璃平面光波导性能的影响。