旋转冲洗甩干机是半导体湿法清洗工艺中的主流设备之一，其关键技术之一，是如何克服该设备中载片刚性转架在高速旋转时产生的振动，从而引发盒装晶圆片在冲洗、干燥工艺流程中易出现碎片、干燥不彻底等现象，为此，对载片刚性转架结构的构建、转动不平衡修正、动平衡验证等方面进行分析探究。
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