达曼光栅的设计与制作方法探讨

作者：王晓玲; 周哲海; 周丽

来源：激光杂志, 2022, 43(02): 15-20.

DOI：10.14016/j.cnki.jgzz.2022.02.015

• 达曼光栅
• 设计
• 制作
• 衍射效率

研究基于二元光学的达曼光栅理论和设计方法，设计5×5分束达曼光栅。分别采用“减法”和“加法”加工方案制备器件。“减法”工艺方案包括，优化了氧化硅光栅制作中曝光、显影及深刻蚀工艺参数等关键工艺技术；“加法”工艺方案研究了氮化硅薄膜的制备及刻蚀工艺的问题。研究并制备了两种工艺方法的达曼光栅器件。实验结果表明，“减法”工艺方案的零级衍射场均匀分布的5×5点阵，总的衍射效率达到53%,不均匀性仅为0.19%;“加法”工艺方案的总的衍射效率为59%,不均匀性仅为0.16%;实验结果与理论设计的相符，验证了理论设计与工艺技术的可靠性。

• 单位
  北京信息科技大学