加热器位置对多晶硅定向凝固热场的影响

作者：罗玉峰; 刘杰; 张发云; 胡云; 宋华伟

来源：热加工工艺, 2016, 45(17): 82-90.

DOI：10.14158/j.cnki.1001-3814.2016.17.022

• 多晶硅
• 热场
• 定向凝固
• 数值模拟

运用有限元软件COMSOL Multiphysics 4.3a对多晶硅定向凝固过程进行了全局瞬态模拟,在多晶硅铸锭炉顶部加热器与侧部加热器的垂直距离分别为60、150、300 mm时,分析了其对多晶硅熔化以及结晶初期的影响。结果表明:距离为60 mm时硅料熔化所需时间最长,而距离为150、300 mm时硅料熔化时间与其相比分别少34、60 min;对于结晶初期的固液界面,距离为60 mm时固液界面接近于平面,有利于多晶硅晶体生长,而距离为150、300 mm时固液界面均呈现明显的凸形,并且后者比前者凸起的程度更大,会降低多晶硅锭的质量。

• 单位
  新余学院; 南昌大学机电工程学院; 江西省高等学校硅材料重点实验室